Vakuumpumpen

Vakuumpumpen werden zur Erzeugung eines technischen Vakuums, also zur Erzeugung von niedrigen Drücken eingesetzt. Je nach zu erreichendem Zieldruck, kommen unterschiedliche Typen von Vakuumpumpen zum Einsatz. Während bei Vakuumprozessen im Grobvakuum einfache Vorvakuumpumpen ausreichen, werden im Hoch- und Ultrahochvakuum zusätzliche Hochvakuumpumpen benötigt. Im Feinvakuumbereich kommen häufig Rootspumpen zum Einsatz, die den Arbeitsbereich der verwendeten Vorvakuumpumpe um ein oder zwei Dekaden im Druck erweitern. In jeder dieser Klassen bietet Leybold eine Vielzahl unterschiedlicher Pumpentypen an, die jeweils auf die speziellen Bedürfnisse unterschiedlichster Applikationen abgestimmt sind.

10 mbar
1 × 10-3 mbar
1 × 10-3 mbar
1 × 10-12 mbar
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